製品情報 [Oリング・ゴムパッキン -エア・ウォーター・マッハ株式会社-]

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ポロロッカ

「ポロロッカ」とは、液晶/半導体製造装置向けOリングの総称であり、エア・ウォーター・マッハの新たなテクニカル・ブランドです。耐熱性、耐薬品性、耐プラズマ性等、過酷な化学環境と要求に対応します。Oリングなどのシール部品のカスタマイズを得意とし、現在、半導体業界を始めとするハイテク分野に着実な足がかりを築きつつあります。

ポロロッカ
特徴

プロセスの要求に応じて材料を選定いただけます。

耐熱・耐薬品性能……………
耐熱・長寿命…………………
ノンメタル・低アウトガス…
ノンメタル……………………
低アウトガス…………………
R.Pororoca 251B
R.Pororoca 231B
SuperPororoca BETA
R.Pororoca G80C
SuperPororoca IOTA

Oリングに要求されるゴムの特性

耐熱・耐薬品シリーズ(R.Pororoca 231B / R.Pororoca 251B)
耐熱・耐薬品シリーズイメージ

シリーズ最高の耐熱性(最大320℃)をもっています。耐薬品性にも優れる一方、耐プラズマ性を兼ね備えており、あらゆる過酷なプロセスでの使用が可能です。

スタンダードシリーズ(R.Pororoca G80C / SuperPororoca BETA / SuperPororoca IOTA)
スタンダードシリーズイメージ

高密度・高精細化が進む半導体/液晶製造装置向けに、低アウトガス・低金属性を追求し、かつコストパフォーマンスに優れた製品となっております。

適用工程

工程/プロセス R.Pororoca
231B
R.Pororoca
251B
R.Pororoca
G80C
SuperPororoca
BETA
SuperPororoca
IOTA
プラズマ蝕刻
エッチング/アッシング
プラズマ成膜
HDPCVD/PECVD
高温プロセス
300℃超え
××
ウェット工程

物性表

常態物性 R.Pororoca
231B
R.Pororoca
251B
R.Pororoca
G80C
SuperPororoca
BETA
SuperPororoca
IOTA
硬度 A 7575807475
引張強さ MPa 14.319.119.315.115.8
100%M MPa 5.86.83.53.44.8
伸び % 160220430270250
圧縮永久歪 %
70hrs@200℃
1616541910