Pororoca
SEALING BUSINESS
密封业务
特征
-
优异的耐热性
通过引入具有最高耐热性的特殊FFKM聚合物，可应用于各种耐热等级的高温工程。
-
专门用于低粒子和低释气
对于在半导体/ FPD制造过程中的造成成品率下降的粒子释放，通过特殊的填充材料配方从而减少了等离子体的损害。我们还具备了从密封部件中修整排放气体的等级，从而减少成品率的下降。
-
多样化的生产线
我们将从我们的基础和原始混合技术的基础上，通过制造专业知识，从丰富的产品阵容中提出适合应用的最佳材料。通过对应现有生产线可以预期成本绩效。
-
专业生产各种耐受性材料（耐溶剂，耐药，低洗脱金属，低附着力等）
根据对各种化学品的耐受性，可以提出多种材料，包括耐溶剂性和低洗脱金属性能的等级。
阵容
可以根据工艺要求选择材料
Pororoca 875B
Pororoca 875B
- 广泛的耐药品性（包括胺，蒸汽和臭氧）
- 密封性能具有长寿命和优异的机械性能
Pororoca 251B
Pororoca 251B
- 平衡耐热性•耐化学性<耐热性标准：320℃>
Pororoca 252W
Pororoca 252W
- 耐热，非碳材料<耐热性标准：300℃>
Pororoca G80C
Pororoca G80C
- 不含金属填充材料，纯度极佳
Pororoca IOTA
Pororoca IOTA
- 通用氟橡胶，彻底追求低释气性能
半导体应用密封选择指南
| 工程 | 用途/设备 | 推荐材料 | 各种材料的特性 |
|---|---|---|---|
| A）光刻 | |||
| 树脂套件涂层•显像 |
|
875B |
|
| B）蚀刻/灰化 | |||
| 湿过程 |
|
875B |
|
| 干燥过程 |
|
251B
252W |
|
| C）洗净／树脂套件剥离 | |||
| 树脂套件剥离 |
|
875B |
|
| 洗净 | G80C |
|
|
| D）氧化/扩散 | |||
|
251B |
|
|
| E）电极/布线 | |||
|
251B |
|
|
| F）绝缘膜形成 | |||
|
IOTA |
|
|
| G）抛光 | |||
| 化学物理性抛光 |
|
875B |
|
系列物理属性列表
| 材料名/常态物性 | 颜色 | 耐热等级 ℃ |
硬度 Shore A |
拉伸强度 MPa |
100％ 拉伸应力 MPa |
伸长率 ％ |
压缩永久变形 JIS试验片 200℃70H ％ |
压缩永久变形 Oring 200℃70H ％ |
压缩永久变形 Oring 250℃70H ％ |
压缩永久变形 Oring 300℃70H ％ |
200℃加热 加热出气量 μg/g |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 试验条件 | － | － | JIS K6253 |
JIS K6251 | JIS K6262 压缩率：25％ |
Oring：P25 压缩率：25％ |
－ | ||||
| Pororoca 875B |
黑 | 220 | 75 | 16.5 | 6.3 | 180 | 12 | 18 | － | － | － |
| Pororoca 251B |
黑 | 320 | 75 | 21 | 8.7 | 210 | 16 | 18 | － | 39 | － |
| Pororoca 252W |
白 | 300 | 75 | 18 | 7.1 | 260 | － | 33 | － | 63 | － |
| Pororoca G80C |
琥珀 | 220 | 80 | 19.3 | 3.5 | 430 | － | 54 | － | － | － |
| Pororoca IOTA |
黑 | 220 | 75 | 15.8 | 4.7 | 246 | 10 | － | － | － | 9.0 |
系列耐性一览
- 【用途】
- ◎：推荐
- ○：可用
- △：根据部位可用
- ×：不推荐
| 材料名/项目 | 基础聚合物 | 推荐用途 D：干燥 W：湿润 |
重金属溶出 | 加热气体 | 耐药品性 | 等离子电阻 | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 有机酸 | 无机酸 | 胺 | 溶剂 | 高浓度臭氧 | 氧 | 卤素 | |||||
| Pororoca 875B |
FFKM | D/W | 〇 | 〇 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | 〇 | 〇 |
| Pororoca 251B |
FFKM | D/W | △ | 〇 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | 〇 | 〇 |
| Pororoca 252W |
FFKM | D | － | 〇 | － | － | － | － | － | 〇 | ◎ |
| Pororoca G80C |
FKM | D | ◎ | △ | － | － | － | － | － | △ | △ |
| Pororoca IOTA |
FKM | D | － | ◎ | － | － | － | － | － | △ | △ |