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SEALING BUSINESS

シール事業

Pororoca

ポロロッカ

「ポロロッカ」とは、エア・ウォーター・マッハの液晶／半導体製造装置向けOリングの総称であり、新たなテクニカル・ブランドです。耐熱性、耐薬品性、耐プラズマ性等、過酷な化学環境と要求に対応し、半導体業界を始めとするハイテク分野に着実な足がかりを築いています。

特徴

優れた耐熱性

最高の耐熱性を持つ特殊FFKMポリマーを導入することで、高温プロセスでの使用も可能な耐熱グレードを取り揃えております。
低パーティクル性・低アウトガス性に特化

半導体・FPD製造工程において歩留まりを悪化させる原因となるパーティクル放出において、特殊充填材の配合により、プラズマからのダメージを軽減します。同じく歩留まり悪化要因となるシール部品からの放出ガスを微量化したグレードも取り揃えております。
豊富なラインアップ

創業以来培ってきた製造ノウハウと独自の配合技術により、豊富なラインアップから用途に合った最適な材料をご提案致します。既存ラインアップ対応によるコストパフォーマンス性も期待出来ます。
各種耐性（耐溶剤･耐薬品･低溶出金属･低固着性 etc.）に特化

耐溶剤性・低溶出金属性に優れたグレードをはじめ、各種薬品への耐性に応じた幅広い材料ご提案が可能です。

ラインナップ

プロセスの要求に応じて材料をお選びいただけます。

Pororoca 875B

ポロロッカ 875B

幅広い耐薬品性（アミン、スチーム、オゾン含む）
シール性能が長寿命であり、機械的特性も優れる

Pororoca 251B

ポロロッカ 251B

バランスが良い耐熱性・耐薬品性能　＜耐熱目安：320℃＞

Pororoca 252W

ポロロッカ 252W

耐熱性を有する、Nonカーボン素材　＜耐熱目安：300℃＞

Pororoca G80C

ポロロッカ G80C

金属系充填材を含まず、純粋性に優れる

Pororoca IOTA

ポロロッカ IOTA

低アウトガス性能を徹底的に追及した、汎用フッ素ゴム

半導体用途シール選択ガイド

工程	用途／装置	推奨材料	各材質の特性
A）リソグラフィ
レジスト塗布・現像	レジスト管体のシール薬液ラインのシールコーター＆デベロッパー	875B	耐薬品性に優れる。
B）エッチング／アッシング
ウェットプロセス	薬液ラインのシールエッチング装置	875B	耐薬品性に優れる。
ドライプロセス	チャンバー内部品としてチャンバーリッドシールゲートバルブ　etc. プラズマエッチング装置プラスマアッシング装置	251B 252W	耐熱性・耐プラズマ特性に優れる。
C）洗浄／レジスト剥離
レジスト剥離	薬液ラインのシールレジスト剥離装置薬液ラインのシールフィルター洗浄装置	875B	耐薬品性に優れる。
洗浄	薬液ラインのシールレジスト剥離装置薬液ラインのシールフィルター洗浄装置	G80C	純粋性に優れる。
D）酸化／拡散
	炉体のシール酸化・拡散炉ランプアニール装置	251B	耐熱性に優れる。
E）電極／配線
	チャンバー内シールスパッタリング装置メタルCVD装置	251B	耐熱性に優れる。
F）絶縁膜形成
	チャンバー内シール (プラズマ)CVD装置 LP-CVD装置	IOTA	耐熱性に優れる。放出ガスが少ない。
G）研磨
化学的物理的研磨	チャンバー内シール薬液ラインのシール CMP装置	875B	耐薬品性に優れる。

シリーズ物性一覧

材料名＼常態物性	色	耐熱目安 ℃	硬度ショアA	引張強度 MPa	100％引張応力 MPa	伸び％	圧縮永久歪 JIS試験片 200℃70H ％	圧縮永久歪 Oring 200℃70H ％	圧縮永久歪 Oring 250℃70H ％	圧縮永久歪 Oring 300℃70H ％	200℃加熱アウトガス量 μg/g
試験条件	－	－	JIS K6253	JIS K6251			JIS K6262 圧縮率：25％	Oring：P25 圧縮率：25％			－
Pororoca 875B	黒	220	75	16.5	6.3	180	12	18	－	－	－
Pororoca 251B	黒	320	75	21	8.7	210	16	18	－	39	－
Pororoca 252W	白	300	75	18	7.1	260	－	33	－	63	－
Pororoca G80C	琥珀	220	80	19.3	3.5	430	－	54	－	－	－
Pororoca IOTA	黒	220	75	15.8	4.7	246	10	－	－	－	9.0

シリーズ耐性一覧

【用途】
◎：推奨する
○：使用可能
△：箇所により使用可能
×：推奨しない

材料名＼項目	ベースポリマー	推奨用途 D：ドライ W：ウェット	重金属溶出	加熱発生ガス	耐薬品性					耐プラズマ性
材料名＼項目	ベースポリマー	推奨用途 D：ドライ W：ウェット	重金属溶出	加熱発生ガス	有機酸	無機酸	アミン	溶剤	高濃度オゾン	酸素	ハロゲン
Pororoca 875B	FFKM	D/W	〇	〇	◎	◎	◎	◎	◎	〇	〇
Pororoca 251B	FFKM	D/W	△	〇	◎	◎	◎	◎	◎	〇	〇
Pororoca 252W	FFKM	D	－	〇	－	－	－	－	－	〇	◎
Pororoca G80C	FKM	D	◎	△	－	－	－	－	－	△	△
Pororoca IOTA	FKM	D	－	◎	－	－	－	－	－	△	△

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